划痕残留与抛光液粒径及压力控制直接相关。迪伦特设备推荐使用30nm二氧化硅抛光液(pH=7.2±0.5),配合六轴机械臂的力控模块(精度0.1N)进行多角度抛光。对于304不锈钢平面件,建议采用三级抛光程序:粗抛(1200目砂带,压力0.5MPa)→精抛(纳米液,压力0.2MPa)→光整(无纺布轮,压力0.05MPa),可实现Ra≤0.05μm。
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